1:將被測(cè)零件放入它允許的測(cè)量空間范圍內(nèi)，精確地測(cè)出被測(cè)零件表面的點(diǎn)在空間三個(gè)坐標(biāo)位置的數(shù)值；
2:將這些點(diǎn)的坐標(biāo)數(shù)值經(jīng)過計(jì)算機(jī)處理，擬合形成測(cè)量元素，如圓、球、圓柱、圓錐、曲面等，經(jīng)過數(shù)學(xué)計(jì)算的方法得出其形狀、位置公差及其他幾何量數(shù)據(jù)；
3:在測(cè)量領(lǐng)域中，光柵尺及以后的容柵、磁柵、激光干涉儀的出現(xiàn)；
4:上海三坐標(biāo)測(cè)量儀可定義為“一種具有可作三個(gè)方向移動(dòng)的探測(cè)器，可在三個(gè)相互垂直的導(dǎo)軌上移動(dòng)，此探測(cè)器以接觸或非接觸等方式傳送訊號(hào)；
5:三個(gè)軸的位移測(cè)量系統(tǒng) ( 如光學(xué)尺 ) 經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計(jì)算機(jī)等計(jì)算出工件的各點(diǎn)坐標(biāo)(X、Y、Z)及各項(xiàng)功能測(cè)量的儀器”；

6:三坐標(biāo)測(cè)量儀的測(cè)量功能應(yīng)包括尺寸精度測(cè)量、定位精度測(cè)量、幾何精度測(cè)量及輪廓精度測(cè)量等。

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